半导体的电阻率该如何测量出来_半导体的电阻率该如何测量

四探针法通常用于测量半导体的电阻率。四探针法测量电阻率有很大优势，不需要很精确；当用其他方法测量电阻率时，有时四探针法更准确。

与四探针法相比，传统的二探针法由于只需要操作两个探针而更加方便，但是处理二探针法得到的数据却非常复杂。如图1所示，电阻两端有两个探针，每个触点测量电阻两端的电流值和电压值。

我们想确定被测电阻的电阻值。总电阻值为：

RT=V/I=2RW 2RC RDUT；其中，RW为线电阻，RC为接触电阻，电阻的电阻值由RDUT测量。显然，RDUT的值不能用这种方法来确定。纠正的方法是采用四点接触法，即四探针法。如图2所示，电流路径与图1相同，但使用另外两个触点来测量电压。虽然电压表测得的电压也包括导体电压和接触电压，但由于电压表内阻很大，流过电压表的电流很小，所以导体电压和接触电压可以忽略不计，测得的电压值基本等于电阻两端的电压值。

通过使用四探针法而不是两探针法，尽管电流通过的路径相同，但测量变得精确，因为寄生电压降被消除了。后来四探针法已经非常流行，并命名为四探针法。

HEST-800高温四探针测试仪采用四探针双电测量的方法，适用于生产企业、高校和科研部门。它是在高温、真空和大气条件下测试和分析导体材料和半导体材料的测量的重要工具。这种仪器配有各种测量装置来测试不同的材料。液晶显示，无需人工计算，具有温度补偿功能。采用高精度AD芯片控制，恒流输出，结构合理，重量轻，配备10寸触摸屏，软件可保存和打印数据，自动生成报表；该仪器可以显示电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探头形状、探头间距、厚度和电导率。不同的测试夹具可以满足不同材料的测试要求。可根据产品和测试项目的要求购买测试夹具。

双电测量数字四探针测试仪是一种使用线性或方形四探针的双位置测量。该仪器的设计符合单晶硅物理测试方法国家标准，并参考了美国A.S.T.M标准。利用电流探针和电压探针的变换，进行两次电测量，通过两次电测量分析数据，自动消除了样品几何尺寸、边界效应、探针不等距离和机械漂移对测量结果的影响。与直线或方形四探针的单一电测量相比，大大提高了精度，还可应用于产品检测和新材料的电性能研究。

审计福冈江