手动探针台的工作原理及应用范围是什么（手动探针台的工作原理及应用范围）

工作原理：

手动探针台是一种广泛应用于半导体行业的综合性、经济型测试仪器，主要用于测试半导体芯片的电参数。

手动探针站通过由两个探针和吸盘组成的回路以及相应的大型电参数测试仪来检测芯片中的集成电路。

适用范围：

手动探针台主要用于生产和科研中人工测试集成电路、三极管、二极管、可控硅和敏感元件的电压、电流、电阻等参数。

极低温度测试：

当晶圆在低温气氛下测试时，空气中的水蒸气会凝结在晶圆上，导致过度泄漏或探针罐不要触摸电极，这样会使测试失败。测试前要避免抽真空室内的水蒸气，整个测试过程中要保持泵的运转。

高温下的非氧化试验：

当晶圆加热到300、400、500甚至更高时，氧化现象会越来越明显，温度越高，氧化越严重。过度氧化将导致电误差、晶片的物理和机械变形。这避免了在测试之前需要抽出真空室中的氧气，并且在整个测试过程中保持泵运行。

在测试过程中，晶片的温度在低温和高温之间变化。由于热胀冷缩现象，被定位的探针和器件电极之间会有相对位移。此时针座需要重新定位，针座位于腔外。我们也可以选择使用操作杆控制的自动持针器来调整探头的位置。

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审计唐子红