中国光刻机之路有多远ASML阿斯麦 CEO感慨的背后

中国不大可能独立造出顶尖光刻机，但不是绝不可能。这话是荷兰光刻机巨头阿斯曼斯优索的，他为什么说这话呢？说这话背后又隐含了责任的逻辑呢？难道他知道那些我们所不知道的信息嘛？首先大家都了解上海微电子目前只能造出28纳米制成芯片，DVU光刻机，而更高自身的光刻机的研发进度可能涉及的因素太多，目前处于保密阶段，没有透露更多的消息。

而目前共有三家机构承接了中国工业技术的研发任务，分别是上海微电子、中国电科和长春光机所。其中，上海微电子和中国电科都是在突破DUV光刻机，而长春光机所示EUV光刻机，它是基于哈工大的DPPUV的光源。

所以这就是为什么老美会把哈工大列为实体清单了。光刻机其实有原子弹的，有些类似就是技术路线和原理都是明确可知的。

它是现在。在制造业的明珠设计，各门类的尖端工程技术是一个系统性工程。

所以阿斯曼CO之前会说，即使图纸拿给你，你也造不出来。然而中国就是这个脾气，国际空间站不让我们参与，我们就自己建图建站。

曾经进口一台盾构机要七个亿，还要认算高昂的维修维护费用。索性我们就自己造出更先进的盾构机，并把价格打到了国外的十分之一不到。

还有田海神器，天津号、天鲲号定位导航的北斗卫星等等等等，类似此类例子不再枚举。所以中国做出成熟的工作机，这是我们的必达使命。

虽然这条路很艰难，这个难度甚至远超多年的两弹一星。而阿斯麦斯优这个时候会有如此的感叹。

我分析他一定知道了些什么，尤其是中国重点的长春光机所。据公开资料显示，他已经成功公告了制造工作阶段最核心的物镜系统，再加上已经取得突破的双工件台系统，光源系统已经已经被星河半导体攻克的业绩工程。

软件系统。也就是说，我国在光刻机的四大组件上都部署了科研力量，并完成了一系列的技术功课。

相信对高端光刻机的生产还是可以期待的。所以我理解，这就是阿斯贝斯U会说出开头的那句话，但同时这条路任重而道远，我们也不能过于乐观。

大家客观理解就好了，你们说呢，欢迎留下你们的见解，记得转发加，回见。